在三坐标测量仪维修过程中需要避免以下几个问题：
1、防止维护空气压缩系统时受伤：在供应压缩空气期间，不要拆卸空压系统的构件，因为主机电源关闭的状态下也会消耗空气，不使用时请将阀门关闭。
2、保持测量环境稳定：三坐标测量机室内要保证恒温恒湿，一般保证精度的温度必须控制在20±2℃，湿度为40%-60%。
3、定期检查和清洁：定期检查和清洁测针、标准球、Z轴光栅尺面、测量台面等部件，保持其清洁和精度。
4、避免严重碰撞：测头发生严重碰撞会导致测头寿命降低或损坏，长期使用后会导致测头容易疲劳，灵敏度下降，必要时须更换全新的测头。
5、注意电源和电缆：检查测量机导轨区域内是否有障碍物，测座旋转时测头是否会碰撞台面或工件。检查测量机各电缆、气管、地线等连接正常、可靠。
