三坐标测量仪（CMM，Coordinate Measuring Machine）是一种基于空间三维坐标测量原理的高精度测量设备。它的主要组成部分包括主机、测头系统和计算机控制系统。三坐标测量仪维修保养方法包括以下几个步骤：
1、每天工作前清洁：使用干净、不掉纤维的高支纱布浸透99％纯度工业无水乙醇清洁空气轴承导轨滑动通道的所有裸露表面，清洁工作台面和用于校准的探针头和标准球表面。每一周用酒精擦拭一次防尘罩下的气浮轴承导轨面，除去防尘罩上的灰尘。
2、观察测量室内的温度和湿度：保证其在厂家要求的范围内，做好每日温湿度控制图记录。在长时间没有使用三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作。
3、检查机床气源和供气装置：放水放油，定期清洗过滤器及油水分离器。检查供气装置是否松动或损坏，测量机的外罩是否松动或损坏。
4、定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油。
5、开机前检查电源：配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。
