​三次元仪器之三次元测量仪一般区分为滚珠线性滑轨及气浮滑轨两种，滚珠线性滑轨的干涉及变形较大，比较少使用在大型机台；现今的主流为气浮滑轨，其原理为压缩空气在空气轴承与轨道间形成一个几微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空气层，也就是说空气轴承会浮在轨道上，这时便可轻易移动。

传动方式分手动、马达传动两种。一般有三种机型区分：
1. 手动量测　直接拉著Z轴或人工旋转手轮来移动。
2. 电控量测　移动轴安装马达，利用摇杆或电子手轮来控制移动。
3. CNC ( DCC) 自动量测　移动轴均安装伺服马达，并利用电控系统，在程式指令下可自动量测。